Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT47) - pocketboek
ISBN: 0819439959
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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47) - pocketboek
2001, ISBN: 9780819439956
SPIE Press, Taschenbuch, 214 Seiten, Publiziert: 2001-03-31T00:00:01Z, Produktgruppe: Book, Verkaufsrang: 4751601, Elektrotechnik, Ingenieurwissenschaft & Technik, Naturwissenschaften & T… Meer...
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2001
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Bibliografische gegevens van het best passende boek
auteur: | |
Titel: | |
ISBN: |
Contents
- Foreword
- Preface
- List of symbols
- Introduction
- Optical imaging and resolution
- Modified illumination
- Optical proximity correction
- Alternating phase-shifting mask
- Attenuated phase-shift mask
- Selecting appropriate RETs
- Second-generation RETs
- Concluding remarks
- k1 conversion charts
- Bibliography
- Index
Gedetalleerde informatie over het boek. - Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47)
EAN (ISBN-13): 9780819439956
ISBN (ISBN-10): 0819439959
pocket book
Verschijningsjaar: 2001
Uitgever: SPIE Press
Boek bevindt zich in het datenbestand sinds 2007-06-05T04:55:43+02:00 (Amsterdam)
Detailpagina laatst gewijzigd op 2020-03-15T14:40:47+01:00 (Amsterdam)
ISBN/EAN: 0819439959
ISBN - alternatieve schrijfwijzen:
0-8194-3995-9, 978-0-8194-3995-6
alternatieve schrijfwijzen en verwante zoekwoorden:
Auteur van het boek: kit wong
Titel van het boek: resolution, spie vol, enhancement
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